전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM; field emission scanning electron microscope)은 열방사형 전자총이 아닌 뾰족한 팁 주변에 강한 전기장을 가하여 전자가 밖으로 투과되어 나올 수 있도록 하는 전계방사형 전자총을 사용하는 현미경이다. 일반 SEM 보다 분해능이 뛰어난 장점을 가지고 있어 고분해능의 이미지를 관찰할 수 있고, 쉽게 전자빔에 손상을 입는 시료들에 대해서 낮은 가속전압에서 비교적 고배율(최대 x 100000) 관찰이 용이하기 때문에 고해상도를 요구하는 박막재료와 저전압에서 고배율로 관찰해야 하는 생물 재료 등을 분석하는데 필수적인 장비이다.
지난 7월 15일 전남대학교 공동실험 실습관에서 처음 FE-SEM을 이용해 시료가 EPD(Electrophoretic deposition)된 FTO(Fluorine-doped tin oxide)의 표면을 분석했다. 샘플은 carbon tape를 이용해 시료와 FTO를 홀더에 부착하고 Pt coating하여 전처리 후 기계에 넣었다. 조이스틱을 이용해 측정하고자 하는 샘플의 위치를 선택하고 키보드의 magnification 과 focus를 조절해가며 원하는 이미지를 얻었다. 실제 표면 분석으로 육안으로는 확인할 수 없었던 전체적인 porosity의 정도, FTO 위 시료가 올라간 형태, 균일함 및 두께 등을 FE-SEM을 통해 확인할 수 있다.
written by S. Jeong
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